公开(公告)号：CN101629927A

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200910056327.X

申请日：2009-08-13

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郑茂俊 ,  姚陆军 ,  李严波 ,  马荔 ,  沈文忠

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种传感器技术领域的多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法，包括：配制混合电解液；将铝片进行溶剂浸泡处理后采用强氧化抛光液在恒压条件下进行电化学抛光；将圆形铝片进行腐蚀处理后，经去膜处理后进行二次腐蚀处理；将若干多孔氧化铝膜置于磷酸溶液中分别进行化学浸蚀处理，得到若干不同孔径结构的氧化铝膜；在不同孔径结构的氧化铝膜的正面溅射Au膜，通过两根细铜丝分别引出两个电极，制成多孔氧化铝膜湿敏传感器。本发明利用在高场下的磷酸溶液中制备多孔氧化铝膜，缩短了湿敏传感器响应回复时间，在一定湿度区域的灵敏度得到大大提高。这为获得高性能氧化铝湿敏传感器提供了一种有效的方法。

公开(公告)号：CN1974873A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200610118666.2

申请日：2006-11-23

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郑茂俊 ,  李严波 ,  马荔 ,  沈文忠

IPC: C25D11/04

Abstract: 一种纳米材料技术领域的较大孔间距的氧化铝纳米孔阵列膜的快速稳定生长方法。步骤为：第一，配制磷酸－水－乙醇电解液：其中H2O和C2H5OH体积比为4∶1，H3PO4浓度为0.25－0.5mol/L，电解液总体积为2L；第二，铝片预处理：将圆形铝片放入丙酮中浸泡，擦拭干净，并用去离子水冲洗，使用高氯酸和乙醇混合溶液在恒压条件下电化学抛光；第三，使用低温恒温槽将电解液温度降至－5～－10℃温度，并对电解液进行搅拌，在阳极氧化电压为195V、电流密度为1500－4000Am－2的条件下对铝片进行一次腐蚀；第四，将一次腐蚀后的样品在铬酸混合水溶液中浸泡，温度保持在60℃，以去除一次腐蚀产生的氧化铝；第五，在与第三步相同的条件下对样品进行二次腐蚀。