公开(公告)号：CN114859467B

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202210374965.1

申请日：2022-04-11

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 程秀兰 ,  徐锦滨 ,  李雅倩 ,  廖汝俊 ,  权雪玲

IPC: G02B6/124 ,  G02B6/13 ,  G02B6/136

Abstract: 本发明提供了一种基于反向二元闪耀光栅的滤波器及制造方法，包括：硅衬底、埋氧层以及顶层硅；埋氧层一侧连接为顶层硅，另一侧连接硅衬底；顶层硅包括：正向二元闪耀光栅、锥形体、波导以及反向二元闪耀光栅；波导两端分别通过锥形体连接正向二元闪耀光栅和反向二元闪耀光栅。本发明提出了一种只利用片上I/O端口即可实现在通信O波段进行选择滤波功能的硅基光学滤波器件，在不降低滤波性能的前提下，可以大大简化设计过程以及加工难度。

公开(公告)号：CN114859467A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202210374965.1

申请日：2022-04-11

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 程秀兰 ,  徐锦滨 ,  李雅倩 ,  廖汝俊 ,  权雪玲

IPC: G02B6/124 ,  G02B6/13 ,  G02B6/136

Abstract: 本发明提供了一种基于反向二元闪耀光栅的滤波器及制造方法，包括：硅衬底、埋氧层以及顶层硅；埋氧层一侧连接为顶层硅，另一侧连接硅衬底；顶层硅包括：正向二元闪耀光栅、锥形体、波导以及反向二元闪耀光栅；波导两端分别通过锥形体连接正向二元闪耀光栅和反向二元闪耀光栅。本发明提出了一种只利用片上I/O端口即可实现在通信O波段进行选择滤波功能的硅基光学滤波器件，在不降低滤波性能的前提下，可以大大简化设计过程以及加工难度。