公开(公告)号：CN116845056B

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202310807939.8

申请日：2023-07-03

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 乌李瑛 ,  程秀兰 ,  付学成 ,  刘丹 ,  张文昊

IPC: H01L23/64

Abstract: 本发明公开了一种高性能氧化铪基铁电电容器及其制备方法，涉及电容器加工技术领域。本发明高性能氧化铪基铁电电容器从上到下依次为TiN顶电极层、Al2O3薄膜层，HZO层、TiON层、TiN底电极层、硅晶圆基片。本发明的氧化铪基铁电电容器具有优异的铁电性、介电性和耐久性。

公开(公告)号：CN116845056A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202310807939.8

申请日：2023-07-03

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 乌李瑛 ,  程秀兰 ,  付学成 ,  刘丹 ,  张文昊

IPC: H01L23/64

Abstract: 本发明公开了一种高性能氧化铪基铁电电容器及其制备方法，涉及电容器加工技术领域。本发明高性能氧化铪基铁电电容器从上到下依次为TiN顶电极层、Al2O3薄膜层，HZO层、TiON层、TiN底电极层、硅晶圆基片。本发明的氧化铪基铁电电容器具有优异的铁电性、介电性和耐久性。

公开(公告)号：CN221460500U

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202420009967.5

申请日：2024-01-03

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 乌李瑛 ,  程秀兰 ,  刘丹 ,  张文昊

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  C23C16/50

Abstract: 本实用新型属于工业生产技术领域，具体涉及一种防4英寸晶圆样品背面沉积的半自动化等离子掩模夹具，包括下盖板，所述下盖板的顶部连接有下环形凸块，所述下盖板的顶部设置有四组第一磁块，所述下环形凸块的内侧设置有托盘，托盘为软性材质，所述下盖板的顶部设置有上盖板，所述上盖板的底部设置有上环形凸块，所述上环形凸块的内侧设置有压环，所述上盖板的底部设置有四组第二磁块。本实用新型提出通过上盖板为铅板和压环套嵌结构，压环为软性材质，而铅板的重量大，作为上盖板可以用重力将压环压在晶圆样品边沿，并通过四组磁块进一步实现密封，当软性压环与软性托盘将样品压实和密封后，样品背面和软性托盘紧密贴合，上、下盖板的环形凸块、托盘及较宽的压环共同阻碍反应气体流到样品背部。