公开(公告)号：CN111044182B

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN201911420977.8

申请日：2019-12-31

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张卫平 ,  孟冉 ,  周岁 ,  王晨阳 ,  赵佳欣

IPC: G01L1/14 ,  G01L3/10

Abstract: 本发明提供了一种可调力/力矩的传感器及制作方法，包括：移动平台、传感器底板(1)、十字形双悬臂梁单元、传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)、传感器前板(4)、传感器输入板(5)以及传感器输出板(6)；所述传感器底板(1)将传感器固定在移动平台上，同时将传感器底板(1)接地；所述十字形双悬臂梁单元包括：传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)；所述传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)采用十字形交叉布置；所述输出板电容变化能够产生电容变化信息；所述电容变化信息匹配于力/力矩值测量结果信息。本发明具有系统微调功能，可以对传感器加工所带来的位置误差和长期测量损耗进行补偿。

公开(公告)号：CN111044182A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201911420977.8

申请日：2019-12-31

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张卫平 ,  孟冉 ,  周岁 ,  王晨阳 ,  赵佳欣

IPC: G01L1/14 ,  G01L3/10

Abstract: 本发明提供了一种可调力/力矩的传感器及制作方法，包括：移动平台、传感器底板(1)、十字形双悬臂梁单元、传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)、传感器前板(4)、传感器输入板(5)以及传感器输出板(6)；所述传感器底板(1)将传感器固定在移动平台上，同时将传感器底板(1)接地；所述十字形双悬臂梁单元包括：传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)；所述传感器主动调控梁(2)、传感器被动调控梁(3)采用十字形交叉布置；所述输出板电容变化能够产生电容变化信息；所述电容变化信息匹配于力/力矩值测量结果信息。本发明具有系统微调功能，可以对传感器加工所带来的位置误差和长期测量损耗进行补偿。