公开(公告)号：CN102403175A

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN201110346453.6

申请日：2011-11-04

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 徐东 ,  侯中宇 ,  回兵 ,  徐航 ,  张亚非

IPC: H01J9/02

Abstract: 本发明公开一种在微纳电极上沉积介质阻挡层的方法，包括如下步骤：在衬底上制备三维微放电电极；在微电极表面电泳沉积碳纳米管并同时形成氧化镁介质覆盖层。本发明通过改善碳纳米管和微放电电极表面的介质覆盖性，改善了介质对离化电流的抑制作用并延长了的工作寿命，制备步骤简单，制备成本低。

公开(公告)号：CN102332375B

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201110226566.2

申请日：2011-08-09

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 徐东 ,  侯中宇 ,  王雨化 ,  回兵 ,  张亚非

IPC: H01J9/02

Abstract: 本发明公开一种基于碳纳米管的介质阻挡微放电结构的制备方法，具体包括如下步骤：在衬底上制备三维微放电电极；在微电极表面沉积聚合物介质薄膜；形成介质和电极交替结构；在未覆盖介质的微电极上沉积一维纳米材料。本发明可以有效改善介质对微放电电极表面的覆盖性，增强了介质对离化的抑制作用，所形成的交替介质和电极结构，可避免电极间的碳纳米管的短路故障，提高器件的工作寿命和制备合格率。

公开(公告)号：CN102140037A

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201110071916.2

申请日：2011-03-24

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张亚非 ,  戴振清 ,  魏良明 ,  徐东 ,  回兵

IPC: C04B41/50

Abstract: 一种纳米处理技术领域的实现氧化锌纳米线自组装的方法，通过将硅片表面依次进行羟基化和氨基化处理后，浸泡于经十二烷基硫酸钠进行表面修饰后的氧化锌纳米线分散液，实现自组装。本发明简单、方便、高效，制备得到的氧化锌纳米线薄膜适宜制备高质量器件。

公开(公告)号：CN102494837A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201110391809.8

申请日：2011-12-01

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张亚非 ,  回兵 ,  徐航 ,  徐东 ,  魏浩

IPC: G01L21/30

Abstract: 本发明公开了一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在该衬底上的阳极和阴极微电极，该阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，且阴极上覆盖有一维纳米材料。本发明利用了一维纳米材料具有优异的场发射性能，在较低的直流电压下即可产生较大的电流，既安全又便于测量。

公开(公告)号：CN102494837B

公开(公告)日：2013-10-16

申请号：CN201110391809.8

申请日：2011-12-01

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张亚非 ,  回兵 ,  徐航 ,  徐东 ,  魏浩

IPC: G01L21/30

Abstract: 本发明公开了一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在该衬底上的阳极和阴极微电极，该阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，且阴极上覆盖有一维纳米材料。本发明利用了一维纳米材料具有优异的场发射性能，在较低的直流电压下即可产生较大的电流，既安全又便于测量。

公开(公告)号：CN102140037B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201110071916.2

申请日：2011-03-24

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张亚非 ,  戴振清 ,  魏良明 ,  徐东 ,  回兵

IPC: C04B41/50

Abstract: 一种纳米处理技术领域的实现氧化锌纳米线自组装的方法，通过将硅片表面依次进行羟基化和氨基化处理后，浸泡于经十二烷基硫酸钠进行表面修饰后的氧化锌纳米线分散液，实现自组装。本发明简单、方便、高效，制备得到的氧化锌纳米线薄膜适宜制备高质量器件。