公开(公告)号：CN1086158C

公开(公告)日：2002-06-12

申请号：CN99116819.4

申请日：1999-08-30

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 崔容强 ,  周之斌 ,  孙铁囤 ,  周帅先

IPC: B05B7/16 ,  H01L39/24 ,  B05D5/12

Abstract: 本发明包括喷涂装置和喷涂方法两部分。喷涂装置：雾化容器套在或半套在隔离容器内，隔离容器的底部设置一超声波振荡器，雾化容器内有配制好的溶液经超声波振荡器雾化后由载气携带定量通过与喷嘴联接定量输出，喷嘴设置在抽气柜内，喷嘴喷出的雾化溶液，均匀地晒在衬底上。喷涂方法：将选定的化合物配制成溶液置入雾化容器，对衬底进行清洗，将加压氧气携带雾化溶液均匀喷洒在衬底上。

公开(公告)号：CN1259405A

公开(公告)日：2000-07-12

申请号：CN99116819.4

申请日：1999-08-30

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 崔容强 ,  周之斌 ,  孙铁囤 ,  周帅先

IPC: B05B7/16 ,  B05B7/12 ,  B05B17/06 ,  B05D5/12

Abstract: 本发明包括喷涂装置和喷涂方法两部分。喷涂装置:雾化容器套在或半套在隔离容器内,隔离容器的底部设置一超声波振荡器,雾化容器内有配制好的溶液经超声波振荡器雾化后由载气携带定量通过与喷嘴联接定量输出,喷嘴设置在抽气柜内,喷嘴喷出的雾化溶液,均匀地晒在衬底上。喷涂方法:将选定的化合物配制成溶液置入雾化容器,对衬底进行清洗,将加压氧气携带雾化溶液均匀喷洒在衬底上。