公开(公告)号：CN111785745A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202010527767.5

申请日：2020-06-11

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郭小军 ,  尹晓宽 ,  侯霄 ,  唐伟 ,  陈苏杰

IPC: H01L27/144 ,  H01L27/30

Abstract: 本发明涉及一种光传感器、光传感装置及其制备方法。所述光传感器包括：衬底；光电晶体管，包括位于所述衬底表面的栅电极、覆盖所述栅电极的绝缘层、位于所述绝缘层表面的源电极和漏电极、以及覆盖于所述源电极和所述漏电极表面的光敏半导体层；第一透明钝化层，位于所述衬底表面且包覆所述光电晶体管；薄膜光敏器件，位于所述第一透明钝化层表面、且与所述光电晶体管错位设置，所述薄膜光敏器件包括位于所述第一透明钝化层表面的下触发电极、位于所述下触发电极表面的光敏功能层、以及位于所述光敏功能层表面的上触发电极；第二透明钝化层，位于所述第一透明钝化层表面且包覆所述薄膜光敏器件。本发明提高传感阵列的刷新速率，降低了功耗。

公开(公告)号：CN117783245A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311777758.1

申请日：2023-12-21

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郭小军 ,  邓立昂 ,  唐伟 ,  宋亚文 ,  尹晓宽 ,  李骏 ,  施蓉蓉 ,  侯霄

IPC: G01N27/414 ,  H01L27/12 ,  H01L21/77 ,  G01N33/543

Abstract: 本发明涉及用于生化检测的薄膜晶体管生物芯片及其形成方法。所述用于生化检测的薄膜晶体管生物芯片包括：衬底；信号处理结构，沿第一方向位于所述衬底的顶面上，所述信号处理结构包括薄膜晶体管电路，所述第一方向垂直于所述衬底的顶面；前端传感器，沿所述第一方向集成于所述信号处理结构上方，且所述前端传感器与所述薄膜晶体管电路电连接；封装层，覆盖所述信号处理结构的表面，且所述封装层中具有开口，所述前端传感器位于所述开口内。本发明实现了高灵敏度的传感性能，克服了传统的薄膜晶体管系统不能直接与待测溶液接触来进行生化检测的问题。

公开(公告)号：CN111785745B

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202010527767.5

申请日：2020-06-11

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郭小军 ,  尹晓宽 ,  侯霄 ,  唐伟 ,  陈苏杰

IPC: H01L27/144 ,  H10K39/30

Abstract: 本发明涉及一种光传感器、光传感装置及其制备方法。所述光传感器包括：衬底；光电晶体管，包括位于所述衬底表面的栅电极、覆盖所述栅电极的绝缘层、位于所述绝缘层表面的源电极和漏电极、以及覆盖于所述源电极和所述漏电极表面的光敏半导体层；第一透明钝化层，位于所述衬底表面且包覆所述光电晶体管；薄膜光敏器件，位于所述第一透明钝化层表面、且与所述光电晶体管错位设置，所述薄膜光敏器件包括位于所述第一透明钝化层表面的下触发电极、位于所述下触发电极表面的光敏功能层、以及位于所述光敏功能层表面的上触发电极；第二透明钝化层，位于所述第一透明钝化层表面且包覆所述薄膜光敏器件。本发明提高传感阵列的刷新速率，降低了功耗。