具有内嵌柔顺机构的法应力电磁致动器

    公开(公告)号:CN117335633A

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202311267843.3

    申请日:2023-09-27

    Abstract: 本发明提供了一种具有内嵌柔顺机构的法应力电磁致动器,包括磁轭(1)、电枢(2)、柔顺机构(3)、永磁体(4)以及线圈(5),其中:所述永磁体(4)通过磁吸力与磁轭(1)连接,所述永磁体(4)设置有两个,且两个永磁体(4)在磁轭(1)内同极相对;所述电枢(2)设置在两个永磁体(4)之间;所述线圈(5)缠绕在磁轭(1)上;所述柔顺机构(3)嵌于磁轭(1)与电枢(2)之间,柔顺机构的末端与磁轭(1)粘接,顶端与电枢(2)粘接。本发明在电磁部件间内嵌了紧凑的柔顺机构,解决了传统致动器与外置柔顺机构结合时带来的结构冗杂、体积庞大、动质量大的问题,达到了在实现预期行程的同时获得更高固有频率的效果。

    法应力电磁压电混合驱动的三维纳米定位平台

    公开(公告)号:CN116455173A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310458433.0

    申请日:2023-04-25

    Abstract: 本发明提供了一种法应力电磁压电混合驱动的三维纳米定位平台,包括:XY轴部分,包括基座、布置在所述基座上的XY平面柔顺机构以及分别能够为平台在X轴方向、Y轴方向提供致动力的法应力电磁致动机构;Z轴部分,通过所具有的压电致动器能够为平台在Z轴方向提供致动力。本发明面向典型应用场景中对纳米定位系统XY平面内大行程、高固有频率的需求,及Z轴超高固有频率的需求,分别采用电磁、压电的致动方式,解决了单一致动方式无法满足各运动轴间差异化性能需求的问题,达到了对各轴性能需求针对性解决的效果。

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