公开(公告)号：CN1229528C

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN01121891.6

申请日：2001-06-26

Applicant: 三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社 ,  三菱综合材料多晶硅股份有限公司

Inventor： 堀宪治 ,  佐佐木刚

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B15/00 ,  G01N33/20 ,  G01N2033/0095

Abstract: 提供实际上不进行单晶的拉制，能够有效地评价原料多晶硅中含有的异物程度的方法。将一定量的多晶硅片1收容在筐2中，然后将筐2浸渍在放入腐蚀液3的腐蚀槽4内。此后，从腐蚀槽4提出，将腐蚀液3取样后，使取样过的液体放置一定时间，在多晶硅的微粒或粉末完全溶解时，使用液中粒子计数器7，测定一定量的液中的粒子数。

公开(公告)号：CN1330173A

公开(公告)日：2002-01-09

申请号：CN01121891.6

申请日：2001-06-26

Applicant: 三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社 ,  三菱综合材料多晶硅股份有限公司

Inventor： 堀宪治 ,  佐佐木刚

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B15/00 ,  G01N33/20 ,  G01N2033/0095

Abstract: 提供实际上不进行单晶的拉制,能够有效地评价原料多晶硅中含有的异物程度的方法。将一定量的多晶硅片1收容在筐2中,然后将筐2浸渍在放入腐蚀液3的腐蚀槽4内。此后,从腐蚀槽4提出,将腐蚀液3取样后,使取样过的液体放置一定时间,在多晶硅的微粒或粉末完全溶解时,使用液中粒子计数器7,测定一定量的液中的粒子数。