公开(公告)号：CN116735545A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310129033.5

申请日：2023-02-03

Applicant: 三菱重工业株式会社 ,  国立研究开发法人理化学研究所

Inventor： 山本修作 ,  梶川敬介 ,  神纳祐一郎 ,  南出泰亚 ,  绳田耕二

IPC: G01N21/63 ,  G01N21/01 ,  G01N21/84

Abstract: 本发明提供一种能够检查位于难透过材料的下层的检查对象物的检查装置。检查装置具备：光源，其输出时间宽度为10皮秒至10纳秒的脉冲激发光；非线性光学晶体，其通过所述脉冲激发光的光波长转换而产生太赫兹波；偏振部，其反射所述太赫兹波由检查对象物反射后的反射波的至少一部分；以及检测器，其检测由所述偏振部反射后的反射波。

公开(公告)号：CN116735524A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310118397.3

申请日：2023-02-03

Applicant: 三菱重工业株式会社 ,  国立研究开发法人理化学研究所

Inventor： 山本修作 ,  梶川敬介 ,  神纳祐一郎 ,  南出泰亚 ,  绳田耕二

IPC: G01N21/3581 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种能够检查位于难透过材料的下层的检查对象物的检查装置。检查装置具备：光源，其输出时间宽度为10皮秒至10纳秒的脉冲激发光；非线性光学晶体，其通过所述激发光的光波长转换而产生太赫兹波；以及检测器，其检测所述太赫兹波由检查对象物反射后的反射波。