公开(公告)号：CN1392862A

公开(公告)日：2003-01-22

申请号：CN01803007.6

申请日：2001-07-26

Applicant: 三菱综合材料多晶硅股份有限公司

Inventor： 桐井精一 ,  生川满敏 ,  竹末久幸

IPC: C01B33/107

CPC classification number: C01B33/035 ,  C01B33/03 ,  C01B33/107

Abstract: 将从用氯硅烷和氢气生产多晶硅的炉子中排出的废气冷凝以分离出氢气。将所得冷凝物蒸馏以分离出未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅，然后进一步蒸馏以回收六氯乙硅烷。四氯乙硅烷可以与六氯乙硅烷一起回收。回收的六氯乙硅烷和四氯乙硅烷的纯度比用金属硅生产的常规产品的纯度高得多。

公开(公告)号：CN1193932C

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN01803007.6

申请日：2001-07-26

Applicant: 三菱综合材料多晶硅股份有限公司

Inventor： 桐井精一 ,  生川满敏 ,  竹末久幸

IPC: C01B33/107

CPC classification number: C01B33/035 ,  C01B33/03 ,  C01B33/107

Abstract: 将从用氯硅烷和氢气生产多晶硅的炉子中排出的废气冷凝以分离出氢气。将所得冷凝物蒸馏以分离出未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅，然后进一步蒸馏以回收六氯乙硅烷。四氯乙硅烷可以与六氯乙硅烷一起回收。回收的六氯乙硅烷和四氯乙硅烷的纯度比用金属硅生产的常规产品的纯度高得多。