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公开(公告)号：CN104254922B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201280072636.6
申请日：2012-04-25
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及太阳能电池及太阳能电池的制造方法、太阳能电池组件。所述太阳能电池具备：在一面侧具有第2导电型的杂质元素扩散了的杂质扩散层的第1导电型的半导体衬底；在杂质扩散层上形成了的由上述半导体衬底的材料的氧化膜构成的钝化膜；由具有与上述氧化膜不同的折射率的透光性材料构成、在钝化膜上形成了的防反射膜；与杂质扩散层电连接而在半导体衬底的一面侧形成了的受光面侧电极；和在上述半导体衬底的另一面侧形成了的背面侧电极，杂质扩散层包括：为受光区域且以第1浓度含有杂质元素的第1杂质扩散层和为受光面侧电极的下部区域且以比第1浓度高的第2浓度含有杂质元素的第2杂质扩散层，第1杂质扩散层和第2杂质扩散层的表面形成为均匀的表面状态，第2杂质扩散层上的钝化膜的膜厚比第1杂质扩散层上的钝化膜的膜厚还薄。
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公开(公告)号：CN104254922A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201280072636.6
申请日：2012-04-25
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/1868 , H01L31/02168 , H01L31/0224 , H01L31/022425 , H01L31/02366 , H01L31/065 , H01L31/068 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L31/1864 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及太阳能电池及太阳能电池的制造方法、太阳能电池组件。所述太阳能电池具备：在一面侧具有第2导电型的杂质元素扩散了的杂质扩散层的第1导电型的半导体衬底；在杂质扩散层上形成了的由上述半导体衬底的材料的氧化膜构成的钝化膜；由具有与上述氧化膜不同的折射率的透光性材料构成、在钝化膜上形成了的防反射膜；与杂质扩散层电连接而在半导体衬底的一面侧形成了的受光面侧电极；和在上述半导体衬底的另一面侧形成了的背面侧电极，杂质扩散层包括：为受光区域且以第1浓度含有杂质元素的第1杂质扩散层和为受光面侧电极的下部区域且以比第1浓度高的第2浓度含有杂质元素的第2杂质扩散层，第1杂质扩散层和第2杂质扩散层的表面形成为均匀的表面状态，第2杂质扩散层上的钝化膜的膜厚比第1杂质扩散层上的钝化膜的膜厚还薄。
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公开(公告)号：CN103282205A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201080070939.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
CPC classification number: B41F15/0818 , B41F15/44
Abstract: 本发明的丝网印刷装置的刮刀具备：刮刀中央部（1a），其与涂敷物接触的第一接触面呈下底比上底长的梯形；和刮刀两端部（1b），从上述刮刀中央部（1a）的梯形的侧边向上述第一接触面侧弯曲并延伸，且具有与涂敷物接触的第二接触面，上述刮刀中央部（1a）的下底和上述刮刀两端部（1b）的下边处于同一平面上，在上述第一接触面相对于上述丝网版（20）的表面垂直的状态下，上述刮刀中央部（1a）的下底和上述刮刀两端部（1b）的下边与上述丝网版（20）的表面的上述涂敷物抵接，在上述丝网版（20）的表面上滑动。
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公开(公告)号：CN107155376B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201580070160.6
申请日：2015-02-23
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L31/05
Abstract: 特征在于，具备具有在列之间行数不同的部分、并且以多行多列排列连接的太阳能电池单元(1011至1044)以及连接太阳能电池单元之间的接头线(20)，包括太阳能电池单元的各列的单元群通过连接太阳能电池单元中的、太阳能电池单元的受光面电极与后一行的太阳能电池单元的背面电极的第1接头线(21)以及连接该太阳能电池单元的背面电极与前一行的太阳能电池单元的受光面电极的第2接头线(22)进行连接。而且，在位于构成各列的太阳能电池单元的上端的太阳能电池单元(1011)与位于邻接列的上端的太阳能电池单元(1022)之间，在存在由于单元数量之差引起的高低差的部分，位于上端较高的列的上端的太阳能电池单元的第2接头线(22)被导出到下方，通过在行方向形成的第3接头线(23)连接于邻接行的第1接头线(21)的上端。
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公开(公告)号：CN103189966A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201280003421.9
申请日：2012-03-15
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/306 , H01L21/304 , H01L31/04
CPC classification number: H01L21/30604 , H01L31/02363 , H01L31/18 , Y02E10/50
Abstract: 包括：用含有金属离子的、氧化剂和氢氟酸的混合水溶液蚀刻硅基板的表面，在上述硅基板的表面形成多孔层的第1工序；用以氢氟酸和硝酸为主的混酸蚀刻上述多孔层的孔，在上述硅基板的表面形成纹理的第2工序；用碱药液蚀刻形成了上述纹理的硅基板的表面的第3工序；和用含有臭氧的水处理采用上述碱药液蚀刻的硅基板，在形成于该硅基板的上述孔的内部产生气泡，将上述孔的内部的金属和有机物的杂质除去的第4工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101573801B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200780049395.2
申请日：2007-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L31/04 , H01L31/0236
CPC classification number: H01L31/02363 , Y02E10/50 , Y10S438/96
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池的制造方法，其能够以简单的制造工序制造高特性的太阳能电池，其为在硅基板的表面上具有纹理的太阳能电池的制造方法，其特征在于，具备：第一工序，将硅基板浸渍在含有金属离子的氧化剂和氢氟酸的混合水溶液中，在该硅基板的表面形成多孔质硅层；第二工序，将经过上述第一工序的硅基板表面浸渍在以氢氟酸及硝酸为主的混合酸中进行蚀刻而形成纹理。
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公开(公告)号：CN101573801A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200780049395.2
申请日：2007-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L31/04 , H01L31/0236
CPC classification number: H01L31/02363 , Y02E10/50 , Y10S438/96
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池的制造方法，其能够以简单的制造工序制造高特性的太阳能电池，其为在硅基板的表面上具有纹理的太阳能电池的制造方法，其特征在于，具备：第一工序，将硅基板浸渍在含有金属离子的氧化剂和氢氟酸的混合水溶液中，在该硅基板的表面形成多孔质硅层；第二工序，将经过上述第一工序的硅基板表面浸渍在以氢氟酸及硝酸为主的混合酸中进行蚀刻而形成纹理。
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公开(公告)号：CN102859663B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201080066421.4
申请日：2010-04-26
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L21/306 , B65G49/06 , C23F1/08 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/67086 , B65G49/063 , B65G49/066 , B65G2249/045 , H01L21/6838
Abstract: 本发明的湿式蚀刻用夹具（1）在湿式蚀刻板状的被加工物时，保持被加工物，其中，具有：保持部，其具有形成有用于吸引空气的吸引口（17）的吸引部、和以包围吸引部的周围的方式设置且能够以包围被加工物的第一面的规定区域的方式与第一面紧密接触的第一紧密接触部（15）；与吸引口连通的排气通路；止回阀（12），被设置于排气通路，切断空气向吸引部的流动，并允许来自吸引部的空气的流动。
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公开(公告)号：CN103282205B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201080070939.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
CPC classification number: B41F15/0818 , B41F15/44
Abstract: 本发明的丝网印刷装置的刮刀具备：刮刀中央部（1a），其与涂敷物接触的第一接触面呈下底比上底长的梯形；和刮刀两端部（1b），从上述刮刀中央部（1a）的梯形的侧边向上述第一接触面侧弯曲并延伸，且具有与涂敷物接触的第二接触面，上述刮刀中央部（1a）的下底和上述刮刀两端部（1b）的下边处于同一平面上，在上述第一接触面相对于上述丝网版（20）的表面垂直的状态下，上述刮刀中央部（1a）的下底和上述刮刀两端部（1b）的下边与上述丝网版（20）的表面的上述涂敷物抵接，在上述丝网版（20）的表面上滑动。
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公开(公告)号：CN103904168A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410164466.5
申请日：2008-12-02
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 西本阳一郎
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/02168 , H01L31/068 , H01L31/1804 , H01L31/1868
Abstract: 本发明公开了太阳能电池单元的制造方法。包括：第1工序，在第1导电类型的多晶硅衬底的一面侧通过等离子体CVD法来形成由氮化硅膜构成的钝化膜；第2工序，在所述多晶硅衬底的另一面侧通过热扩散来使第2导电类型的元素扩散，形成扩散层，形成pn结部；第3工序，在所述扩散层上通过等离子体CVD法来形成由氮化硅膜构成的防反射膜；第4工序，在所述多晶硅衬底的另一面侧配置第1电极膏；第5工序，在所述钝化膜上配置第2电极膏；以及第6工序，焙烧所述第1电极膏以及所述第2电极膏来形成电极。
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