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公开(公告)号：CN110050229A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201780075736.7
申请日：2017-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/37
Abstract: 波长转换装置(1)具备：第1非线性介质(11)，其将脉冲振荡产生的基波即第1光束(21)向基波的高次谐波即第2光束(22)转换；第2非线性介质(12)，其以第2光束和透过第1非线性介质的第1光束为基础，使第3光束(23)产生；以及调节单元(30)，其对从第1光束向第2光束的转换效率进行调节。在变更了第1光束的脉冲振荡频率的情况下，通过调节单元对转换效率进行调节，从而第1非线性介质的温度中的第3光束的强度的温度依赖性示出单一最大值，并且维持示出最大值的第1非线性介质的温度与第2光束的强度示出最大值的第1非线性介质的温度相同的状态。
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公开(公告)号：CN109478758A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201680087341.4
申请日：2016-07-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 激光装置(1)具有：光源(2)，其将作为激励光的激光(La)射出；激光介质(3)，其供由光源(2)射出的激光(La)射入；以及激励光学系统(4)，其使由光源(2)射出的激光(La)射入至激光介质(3)。激励光学系统(4)具有准直透镜及聚光透镜，该准直透镜及聚光透镜将激光介质(3)的供激光(La)射入的端面(3a、3b)中的激光(La)的强度分布在以激光(La)的光轴为中心的周向的整周范围，在光轴的外周方向形成比光轴上的激光(La)的强度强的强度分布。准直透镜及聚光透镜为球面透镜。
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公开(公告)号：CN118302921A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202280077132.7
申请日：2022-04-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/10 , B23K26/064 , H01S3/00
Abstract: 激光装置(100)具有：脉冲光源(1)，其使信号光(11)产生；激励光源(2)，其使激励光(12)产生；以及多个激光介质(4a、4b)，它们在信号光(11)的光路串联地排列，分别由激励光(12)激励而使信号光(11)放大。多个激光介质(4a、4b)之中的来自脉冲光源(1)的信号光(11)最后射入的激光介质(4b)的光轴方向长度，比多个激光介质(4a、4b)之中的来自脉冲光源(1)的信号光(11)首先射入的激光介质(4a)的光轴方向长度更短。
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公开(公告)号：CN109475974A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780042748.X
申请日：2017-06-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/082
Abstract: 基板测量装置(1)具有：测量用照相机(8)，其取得基板(5)的图像数据，该基板(5)设置有定位用的对准标记(7)，具有被激光加工后的被加工部(6)；测量工作台(4)，其搭载基板(5)，对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更；图像处理部(12)，其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息，求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标；变换系数计算部(13)，其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数；以及加工误差计算部(14)，其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标，根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。
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公开(公告)号：CN115210971A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202080097970.1
申请日：2020-08-26
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/109 , B23K26/064 , G02F1/37 , H01S3/00
Abstract: 本发明涉及在将激光从连续振荡刚切换为脉冲振荡后得到稳定输出的激光的波长变换装置。本发明所涉及的波长变换装置具有：非线性光学晶体，其对激光的波长进行变换；温度检测部，其对非线性光学晶体的温度进行测定；温度调整部，其基于由温度检测部测定出的温度对非线性光学晶体的温度进行调整；以及第1金属层，其被非线性光学晶体与温度检测部相对的面夹着。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109475974B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201780042748.X
申请日：2017-06-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G05B19/404 , B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/04 , B23K26/082
Abstract: 基板测量装置(1)具有：测量用照相机(8)，其取得基板(5)的图像数据，该基板(5)设置有定位用的对准标记(7)，具有被激光加工后的被加工部(6)；测量工作台(4)，其搭载基板(5)，对基板(5)和测量用照相机(8)的相对位置进行变更；图像处理部(12)，其基于图像数据及测量工作台(4)的位置信息，求出对准标记(7)的测量位置坐标及被加工部(6)的测量位置坐标；变换系数计算部(13)，其求出从对准标记(7)的测量位置坐标向对准标记(7)的设计位置坐标的变换系数；以及加工误差计算部(14)，其使用变换系数将被加工部(6)的测量位置坐标坐标变换为变换后位置坐标，根据变换后位置坐标和被加工部(6)的设计位置坐标之差而求出加工误差。
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公开(公告)号：CN105390933B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201510510846.4
申请日：2015-08-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S5/06 , B23K26/00 , B23K26/064
Abstract: 激光器装置具有：种光源，其输出光；前置光放大器，其对输出的光进行光学放大；后置光放大器，其对输出的光进行光学放大，包含具有热透镜效应的放大介质；功率监视器部，其对输出的光的平均功率进行测定；种光源驱动器；前置光放大器驱动器；以及控制部，其控制种光源驱动器及前置光放大器驱动器。控制部控制种光源，以选择性地输出连续光或多个脉冲，控制部基于功率监视器部的测定结果，对前置光放大器的增益进行控制，以使得从前置光放大器输出的光的平均功率变为恒定。根据上述的结构，在使用包含具有热透镜效应的放大介质在内的光放大器的情况下，能够抑制热透镜的特性变化，并且在较大的范围内对脉冲光的峰值功率或脉冲能量进行控制。
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公开(公告)号：CN115210973B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202080098088.9
申请日：2020-03-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/13
Abstract: 消除现有的波长变换装置的问题、即如果使激光的脉冲频率变化，则波长变换后的平均输出会变化，从非线性介质射出的激光的角度会变化，具有：脉冲激光光源(1)，其产生激光(3)；脉冲频率控制单元(2)，其对脉冲频率进行控制；非线性介质(8)，其将激光(3)的一部分向激光(9)进行波长变换；聚光透镜(7)，其对激光(3)进行聚光；准直用透镜(10)，其对激光(9)的扩展角进行调整；平行平面板(13)，其供经过了准直用透镜(10)的激光(9)射入，并且使激光(9)透过而射出；以及角度调整机构(14)，其对向平行平面板(13)射入的激光(9)的入射角度进行控制。
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公开(公告)号：CN115210973A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202080098088.9
申请日：2020-03-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/13
Abstract: 消除现有的波长变换装置的问题、即如果使激光的脉冲频率变化，则波长变换后的平均输出会变化，从非线性介质射出的激光的角度会变化，具有：脉冲激光光源(1)，其产生激光(3)；脉冲频率控制单元(2)，其对脉冲频率进行控制；非线性介质(8)，其将激光(3)的一部分向激光(9)进行波长变换；聚光透镜(7)，其对激光(3)进行聚光；准直用透镜(10)，其对激光(9)的扩展角进行调整；平行平面板(13)，其供经过了准直用透镜(10)的激光(9)射入，并且使激光(9)透过而射出；以及角度调整机构(14)，其对向平行平面板(13)射入的激光(9)的入射角度进行控制。
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公开(公告)号：CN110050229B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201780075736.7
申请日：2017-05-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G02F1/37
Abstract: 波长转换装置(1)具备：第1非线性介质(11)，其将脉冲振荡产生的基波即第1光束(21)向基波的高次谐波即第2光束(22)转换；第2非线性介质(12)，其以第2光束和透过第1非线性介质的第1光束为基础，使第3光束(23)产生；以及调节单元(30)，其对从第1光束向第2光束的转换效率进行调节。在变更了第1光束的脉冲振荡频率的情况下，通过调节单元对转换效率进行调节，从而第1非线性介质的温度中的第3光束的强度的温度依赖性示出单一最大值，并且维持示出最大值的第1非线性介质的温度与第2光束的强度示出最大值的第1非线性介质的温度相同的状态。
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