显示装置及其制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101144948A

    公开(公告)日:2008-03-19

    申请号:CN200710153680.0

    申请日:2007-09-14

    Inventor: 入住智之

    CPC classification number: H01L29/04 H01L27/1255 H01L27/1281 H01L29/78696

    Abstract: 本发明提供一种生产率高、显示品质优异的液晶显示装置及其制造方法。本发明的显示装置具备:设置在基板(1)上的信号线(9);在基板(1)上与信号线(9)分离开设置的导电性膜(12);设置在信号线(9)和导电性膜(12)上方的基底绝缘膜;设置在基底绝缘膜上方的多晶硅膜(4);形成在多晶硅膜(4)上方的层间绝缘膜(7);形成在层间绝缘膜(7)上方的像素电极(11);在层间绝缘膜(7)的上方与像素电极(11)分离开形成、并将多晶硅膜(4)和信号线(9)相连接的连接图案(15);在下部形成导电性膜(12)的多晶硅膜(4)的结晶粒径比在下部未形成导电性膜(12)的多晶硅膜(4)的结晶粒径大。

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