公开(公告)号：CN100580561C

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN03147049.1

申请日：2003-07-16

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 松原将英 ,  丸山岳人 ,  樱井直人

IPC: G03F7/32 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的防蚀显影组合物含有：含1-10%重量的有机碱的水溶液，1-10%重量的糖化合物和1-10%重量的多元醇。该防蚀显影组合物在防止金属腐蚀和显影性能方面具有优异的特性，并适用于半导体元件和液晶显示器件的生产。

公开(公告)号：CN1570772A

公开(公告)日：2005-01-26

申请号：CN03147049.1

申请日：2003-07-16

Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社

Inventor： 松原将英 ,  丸山岳人 ,  樱井直人

IPC: G03F7/32 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明的防蚀显影组合物含有：含1－10％重量的有机碱的水溶液，1－10％重量的糖化合物和1－10％重量的多元醇。该防蚀显影组合物在防止金属腐蚀和显影性能方面具有优异的特性，并适用于半导体元件和液晶显示器件的生产。