试验规划装置以及试验规划方法

    公开(公告)号:CN110268349A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201880010974.4

    申请日:2018-02-05

    Abstract: 提供能通过少的试验案例数的学习数据在确认模型数据的精度的同时制作模型数据的装置以及方法。将多个输入参数基于针对各工艺值的各输入参数的相互的关系分类成多个参数群。输入参数提示部(211a)将多个参数群当中一者选择为学习对象参数群,提示将该输入参数设为变量、将非学习对象参数群的输入参数设为固定值的试验条件。模型数据学习部(211d)基于利用提示的试验条件的实际工艺值与虚拟工艺值的比较结果来修正模型数据。输入参数提示部(211a)选择新的学习对象参数,前次的学习对象参数群的输入参数提示将最佳的试验条件的输入参数作为固定值使用的新的试验条件。进而输出控制部(211g)输出适用试验条件而得到的实际工艺值以及虚拟工艺值。

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