公开(公告)号：CN103154042B

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201180050339.7

申请日：2011-10-14

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安田敦 ,  押切友也 ,  百濑阳

IPC: C08F2/04 ,  G01N24/08 ,  G01R33/32 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/004 ,  C08F2/00 ,  C08F120/28 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/283 ,  C08F2400/02 ,  G01N24/085 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/20

Abstract: 在目标变量分析部(11)根据单体单元的共聚合反应性比算出已知共聚物样本的组成中单体单元的三元组分数从而求得目标变量，在波形处理部(12)进行NMR测定以及信号等的处理，在解释变量分析部(13)根据该已知样本的NMR测定中化学位移量以及信号强度得出解释变量，在模型建立部(14)根据偏最小二乘回归求得目标变量和解释变量的回归模型的回归式，求得回归模型的因子，在样本解析部(15)用所述回归模型，根据未知样本共聚物的NMR测定中的化学位移量和信号强度，用算出该未知样本中三元组分数的方法算出。通过使用这样得到的三元组分数的合计是共聚物中20摩尔％以下的光刻技术用共聚物，能够制备溶解性以及灵敏度优异的抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN103154042A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201180050339.7

申请日：2011-10-14

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安田敦 ,  押切友也 ,  百濑阳

IPC: C08F2/04 ,  G01N24/08 ,  G01R33/32 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/004 ,  C08F2/00 ,  C08F120/28 ,  C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C08F220/28 ,  C08F2220/283 ,  C08F2400/02 ,  G01N24/085 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/20

Abstract: 在目标变量分析部(11)根据单体单元的共聚合反应性比算出已知共聚物样本的组成中单体单元的三元组分数从而求得目标变量，在波形处理部(12)进行NMR测定以及信号等的处理，在解释变量分析部(13)根据该已知样本的NMR测定中化学位移量以及信号强度得出解释变量，在模型建立部(14)根据偏最小二乘回归求得目标变量和解释变量的回归模型的回归式，求得回归模型的因子，在样本解析部(15)用所述回归模型，根据未知样本共聚物的NMR测定中的化学位移量和信号强度，用算出该未知样本中三元组分数的方法算出。通过使用这样得到的三元组分数的合计是共聚物中20摩尔％以下的光刻技术用共聚物，能够制备溶解性以及灵敏度优异的抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN103733289A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280039135.8

申请日：2012-06-22

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 冈田春树 ,  藤川大辅 ,  野殿光史 ,  百濑扶实乃 ,  下中绫子 ,  伊藤公一 ,  石井明宏 ,  百濑阳

IPC: H01G11/30

CPC classification number: H01M4/622 ,  H01G11/28 ,  H01G11/30 ,  H01G11/38 ,  H01M10/052 ,  Y02E60/13 ,  Y02T10/7022

Abstract: 本发明关于电化学元件的电极用粘合剂，所述电极用粘合剂是具有N-乙烯基甲酰胺单元的聚合物，可以抑制起因于粘合性下降及电池内部电阻增大的电池性能的下降，可提升电池性能。

公开(公告)号：CN1930194A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200580007225.9

申请日：2005-03-08

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 百濑阳 ,  大竹敦 ,  中村雅 ,  上田昭史

IPC: C08F20/10 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0397 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明提供在用于DUV准分子激光平版印刷等时，线边粗糙度小且缺陷也很少发生的抗蚀剂用聚合物，所述聚合作为构成单元含有酸分解性单元，所述酸分解性单元的结构是由式(1)或(2)来表示。n表示2～24的整数。J为，当n＝2时表示单键、二价烃基或具有取代基和/或杂原子的二价烃基，当n≥3时，表示n价烃基或具有取代基和/或杂原子的n价烃基；E表示阻聚剂的、链转移剂的或聚合引发剂的残基。K1和K2表示亚烷基、环亚烷基、氧亚烷基、亚芳基、二价噻唑啉环、二价恶唑啉环、二价咪唑啉环中的至少一种，L1和L2表示－C(O)O－、－C(O)－、－OC(O)－中的至少一种，M1、M2、M3表示亚烷基、环亚烷基、氧亚烷基、亚芳基中的至少一种，Y、Y1、及Y2表示酸分解性键。k1、k2、11、12、m1、m2及m3为0或1。R1表示氢原子或甲基。

公开(公告)号：CN1737000B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200510090805.0

申请日：2002-10-22

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安齐龙一 ,  加门良启 ,  藤原匡之 ,  桑野英昭 ,  大竹敦 ,  百濑阳

IPC: C07D317/34 ,  C07D317/72 ,  C07D319/06 ,  C07D319/08 ,  C07D325/00 ,  C08G63/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: C07D317/72 ,  C07D317/18 ,  C07D317/34 ,  C07D317/42 ,  C08F20/30 ,  C08F24/00 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/143

Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器光刻及电子线光刻等的抗蚀剂组成物，以及用该抗蚀剂组成物的图谱(样品)。

公开(公告)号：CN100453539C

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN02146580.0

申请日：2002-10-22

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安齐龙一 ,  加门良启 ,  藤原匡之 ,  桑野英昭 ,  大竹敦 ,  百濑阳

IPC: C07D317/34 ,  C07D317/72 ,  C07D319/06 ,  C07D319/08 ,  C07D325/00 ,  C09D199/00 ,  C09D5/08

CPC classification number: C07D317/72 ,  C07D317/18 ,  C07D317/34 ,  C07D317/42 ,  C08F20/30 ,  C08F24/00 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/143

Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器石印及电子线石印等的抗蚀剂组合物，以及用该抗蚀剂组合物的图谱(样品)。

公开(公告)号：CN1413992A

公开(公告)日：2003-04-30

申请号：CN02146580.0

申请日：2002-10-22

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 安齐龙一 ,  加门良启 ,  藤原匡之 ,  桑野英昭 ,  大竹敦 ,  百濑阳

IPC: C07D317/34 ,  C07D317/72 ,  C07D319/06 ,  C07D319/08 ,  C07D325/00 ,  C09D199/00 ,  C09D5/08

CPC classification number: C07D317/72 ,  C07D317/18 ,  C07D317/34 ,  C07D317/42 ,  C08F20/30 ,  C08F24/00 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/143

Abstract: 本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法，该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性，并可获得优良的光透性及热稳定性；灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小；并提供一种形成方法，该方法适合远紫外光准分子激光器石印及电子线石印等的抗蚀剂组成物，以及用该抗蚀剂组成物的图谱(样品)。

公开(公告)号：CN106543936A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201611052435.6

申请日：2012-11-30

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 冈田春树 ,  野殿光史 ,  百濑阳 ,  百濑扶实乃 ,  藤江史子 ,  松本晃和 ,  藤川大辅 ,  下中绫子 ,  石井明宏

IPC: C09J139/02 ,  C09J151/08 ,  C08F226/02 ,  C08F220/06 ,  C08F220/14 ,  C08F283/06 ,  C08F126/02 ,  C08F220/28 ,  C08F226/10 ,  H01M4/62

CPC classification number: H01M4/622 ,  C08F26/02 ,  H01M4/0404 ,  H01M4/525 ,  H01M4/587 ,  C09J139/02 ,  C08F126/02 ,  C08F226/02 ,  C08F283/065 ,  C09J151/08 ,  H01M4/621 ,  H01M4/623 ,  C08F220/06 ,  C08F220/14 ,  C08F2220/285 ,  C08F226/10

Abstract: 本发明的非水二次电池电极用粘合剂树脂含有下述(α)成分和/或(β)成分，(α)成分：具有下述通式(21)所表示的结构单元和下述通式分：具有下述通式(21)所表示的结构单元的聚合物(β1)与具有下述通式(22)所表示的结构单元的聚合物(β2)的混合物，式(21)中，R21为氢原子，式(22)中，R22和R23各自独立地为氢原子。(22)所表示的结构单元的聚合物(α)，(β)成

公开(公告)号：CN105659418A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480058274.4

申请日：2014-10-07

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 石垣宪一 ,  野殿光史 ,  百濑扶实乃 ,  藤川大辅 ,  松本晃和 ,  百濑阳

IPC: H01M4/62 ,  H01M4/13

CPC classification number: H01M4/622 ,  H01M4/13 ,  H01M4/485 ,  H01M4/587 ,  H01M4/625 ,  H01M10/0525

Abstract: 本发明的二次电池电极用树脂组合物包含含有氰化乙烯基单元且不含有酸性基团的聚合物(A)、含有酸性基团的聚合物(B)和含有羟基的化合物(C)。

公开(公告)号：CN104081566A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201280068613.8

申请日：2012-11-30

Applicant: 三菱丽阳株式会社

Inventor： 冈田春树 ,  野殿光史 ,  百濑阳 ,  百濑扶实乃 ,  藤江史子 ,  松本晃和 ,  藤川大辅 ,  下中绫子 ,  石井明宏

IPC: H01M4/62

CPC classification number: H01M4/622 ,  C08F26/02 ,  H01M4/0404 ,  H01M4/525 ,  H01M4/587

Abstract: 本发明的非水二次电池电极用粘合剂树脂在溶解于水而形成浓度5质量％的溶液，于25℃进行利用动态光散射法的粒度分布测定时，满足IS≥30(IS表示在1～100nm的粒径范围内观测到的散射强度的总和)。此外，本发明的非水二次电池电极用粘合剂树脂含有具有下述通式(11)所表示的结构单元和特定结构单元的聚合物(B)。此外，本发明的非水二次电池电极用粘合剂树脂含有含有具有特定结构单元和下述通式(22)所表示的结构单元的聚合物(α)和/或具有特定结构单元的聚合物(β1)与具有下述通式(22)所表示的结构单元的聚合物(β2)的混合物。