公开(公告)号：CN1621355A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN200410031538.5

申请日：2004-03-23

Applicant: 三洋电机株式会社

Inventor： 梅泽浩之 ,  井关正博 ,  高冈大造 ,  乐间毅 ,  池松峰男 ,  对比地元幸 ,  饮沼宏文

IPC: C02F1/00 ,  B01D24/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/304

CPC classification number: C02F1/4676 ,  C02F1/001 ,  C02F1/004 ,  C02F1/46 ,  C02F9/00 ,  C02F2303/16

Abstract: 一种水处理方法，可除去CMP废水中所含的溶胶状微粒以及含氮组分，具体为利用具有凝胶状的第2过滤器的过滤装置(13)进行过滤处理，除去CMP废水中的溶胶状微粒成分。另外通过利用电极(12)进行电化学处理，可以除去CMP废水中的含氮组分。这些过滤处理以及电化学处理，可以使用独立的槽进行，也可以在同一槽中进行。通过在同一槽内进行过滤处理以及电化学处理，可以提供节省空间的水处理装置。