-
公开(公告)号:CN1102260A
公开(公告)日:1995-05-03
申请号:CN94102642.6
申请日:1994-03-05
Applicant: 三洋化成工业株式会社
IPC: G03F7/012
CPC classification number: C09D11/101 , C08F8/44 , C08F2800/10 , G03F7/012 , C08F8/30 , C08F220/06 , C08F2222/1013 , C08F216/18
Abstract: 本发明是关于分子中至少有1个由化学式(1)(式中n是1—10的整数)表示的基团的感光性树脂。本发明的感光性树脂,其分子内具有1个以上在300nm以上具有吸收波长范围的叠氮基,因此是高灵敏度的感光性树脂。这种感光性树脂可用于透过该波长范围的光的工业生产成本低的乳剂被覆制造的光致抗蚀剂或钠钙玻璃制造的光致抗蚀剂。本发明的感光性树脂作为光致抗蚀剂作用非常有效。
-
公开(公告)号:CN101977970B
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN200980109517.1
申请日:2009-03-23
Applicant: 三洋化成工业株式会社
CPC classification number: C08J3/12 , C08J2367/02 , G03G9/0804 , G03G9/0819 , G03G9/08795 , G03G9/08797 , Y02P20/544
Abstract: 本发明提供一种使用超临界流体得到的粒度分布足够窄的树脂粒子、及使用超临界流体得到粒度分布足够窄的树脂粒子的制造方法。本发明提供一种树脂粒子(C),其为使微粒(A)固定在含有树脂(b)的树脂粒子(B)的表面或使微粒(A)在含有树脂(b)的树脂粒子(B)的表面覆膜化而成的,其中,在小于微粒(A)的玻璃化温度或小于微粒(A)的熔点的温度下,由液态或超临界状态的二氧化碳(X)所致的微粒(A)的膨润度为16%以下,微粒(A)为选自结晶性树脂(a1)、非结晶性树脂(a2)、及无机化合物(a3)中的至少一种。
-
公开(公告)号:CN101977970A
公开(公告)日:2011-02-16
申请号:CN200980109517.1
申请日:2009-03-23
Applicant: 三洋化成工业株式会社
CPC classification number: C08J3/12 , C08J2367/02 , G03G9/0804 , G03G9/0819 , G03G9/08795 , G03G9/08797 , Y02P20/544
Abstract: 本发明提供一种使用超临界流体得到的粒度分布足够窄的树脂粒子、及使用超临界流体得到粒度分布足够窄的树脂粒子的制造方法。本发明提供一种树脂粒子(C),其为使微粒(A)固定在含有树脂(b)的树脂粒子(B)的表面或使微粒(A)在含有树脂(b)的树脂粒子(B)的表面覆膜化而成的,其中,在小于微粒(A)的玻璃化温度或小于微粒(A)的熔点的温度下,由液态或超临界状态的二氧化碳(X)所致的微粒(A)的膨润度为16%以下,微粒(A)为选自结晶性树脂(a1)、非结晶性树脂(a2)、及无机化合物(a3)中的至少一种。
-
-