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公开(公告)号:CN110473804A
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:CN201910381619.4
申请日:2019-05-08
Applicant: 三星电子株式会社 , 首尔大学校产学协力团
IPC: H01L21/67
Abstract: 清洁设备包括气体供应线路和清洁液体供应线路。喷嘴连接到气体供应线路和清洁液体供应线路。喷嘴将清洁液体施加到基板上。位于喷嘴的主体的顶部处的气体注入口连接到气体供应线路。第一清洁液体注入口设置在喷嘴主体的侧壁上并连接到清洁液体供应线路。流体排出口设置在喷嘴主体的底部,并排出气体和清洁液体。喷嘴主体的内部通道将气体注入口和第一清洁液体注入口中的每一个连接到流体排出口。流体排出口的直径大于第一清洁液体注入口的直径。
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公开(公告)号:CN111952218B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN202010406079.3
申请日:2020-05-14
Applicant: 细美事有限公司 , 首尔大学校产学协力团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基板处理方法和基板处理装置。提供了一种用于处理基板的方法。所述方法包括,在所述基板旋转的情况下,将第一处理液供应至所述基板的处理目标表面;和随后,在处于蒸汽状态的蒸发抑制剂存在于供应至所述基板的所述第一处理液的周围的情况下,将具有比所述第一处理液的表面张力低的表面张力的第二处理液供应至所述基板,使得所述基板上的所述第一处理液被所述第二处理液替代。因此,可以在施用到基板的清洁液周围形成蒸汽气氛。因此,可以在清洁液被有机溶剂替代的过程中,防止液膜破坏现象。
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公开(公告)号:CN119403516A
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202380048747.1
申请日:2023-02-27
Applicant: 首尔大学校产学协力团 , 首尔大学牙科医院 , 西江大学校产学协力团
IPC: A61C17/02 , A61C17/20 , A61C17/028
Abstract: 本发明一实施例的根管清洁装置包括:声压产生装置,通过接通电力来运行;手柄壳体,用于收纳上述声压产生装置;冷却水通道,形成在上述手柄壳体的内部;冷却水注入口,与形成在上述手柄壳体的上述冷却水通道相连通;以及清洁液喷嘴,设置在上述手柄壳体。通过上述声压产生装置向冷却水施加的超声波声压被传递到清洁液,通过所传递的超声波声压来在清洁液内产生蒸汽泡(vapor bubble),上述蒸汽泡和清洁液一同作用于待治疗的牙齿来去除包括根管在内的牙齿内部的污物。上述清洁液为脱气液(degassed liquid)。
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公开(公告)号:CN110650706B
公开(公告)日:2021-07-27
申请号:CN201880033876.2
申请日:2018-05-23
Applicant: 首尔大学校产学协力团
Abstract: 本发明涉及冲洗根管的根管治疗装置、填充根管的根管治疗装置或冲洗及填充根管的根管治疗装置。本发明的冲洗根管的根管治疗装置冲洗所述根管或者将填充物填充于根管内,包括:储存容器,储存从外部供应的冲洗液或填充物;超声波振荡器,对储存于所述储存容器的冲洗液或者填充物施加超声波;及喷嘴,形成有喷射口及抽吸口,所述喷射口向根管周围喷射在所述储存容器中施加超声波的冲洗液或填充物,所述抽吸口抽吸所述根管内的冲洗液或管内的气泡。
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公开(公告)号:CN111952218A
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN202010406079.3
申请日:2020-05-14
Applicant: 细美事有限公司 , 首尔大学校产学协力团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及基板处理方法和基板处理装置。提供了一种用于处理基板的方法。所述方法包括,在所述基板旋转的情况下,将第一处理液供应至所述基板的处理目标表面;和随后,在处于蒸汽状态的蒸发抑制剂存在于供应至所述基板的所述第一处理液的周围的情况下,将具有比所述第一处理液的表面张力低的表面张力的第二处理液供应至所述基板,使得所述基板上的所述第一处理液被所述第二处理液替代。因此,可以在施用到基板的清洁液周围形成蒸汽气氛。因此,可以在清洁液被有机溶剂替代的过程中,防止液膜破坏现象。
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公开(公告)号:CN110650706A
公开(公告)日:2020-01-03
申请号:CN201880033876.2
申请日:2018-05-23
Applicant: 首尔大学校产学协力团
Abstract: 本发明涉及冲洗根管的根管治疗装置、填充根管的根管治疗装置或冲洗及填充根管的根管治疗装置。本发明的冲洗根管的根管治疗装置冲洗所述根管或者将填充物填充于根管内,包括:储存容器,储存从外部供应的冲洗液或填充物;超声波振荡器,对储存于所述储存容器的冲洗液或者填充物施加超声波;及喷嘴,形成有喷射口及抽吸口,所述喷射口向根管周围喷射在所述储存容器中施加超声波的冲洗液或填充物,所述抽吸口抽吸所述根管内的冲洗液或管内的气泡。
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