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公开(公告)号:CN118163120A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202311654352.4
申请日:2023-12-04
Abstract: 自主驱动机器人包括:储存单元,所述储存单元包括壳体和搁板,所述壳体提供用于储存物品的空间,所述搁板设置在所述壳体内部并且所述物品被装载在所述搁板上;操纵器,所述操纵器包括线性致动器和联接到所述线性致动器的选择顺应性关节型机器人臂;和运输单元,所述运输单元联接到所述储存单元,其中,设置有多个搁板,所述搁板中的一些搁板被设置成与所述壳体的一个内壁相邻且在所述竖直方向上彼此间隔开,并且其他搁板被设置成与面向所述一个内壁的另一内壁相邻且在所述竖直方向上彼此间隔开,并且所述多个搁板朝向所述壳体的中央部分延伸,但是延伸至到达所述壳体的所述中央部分之前的点。
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公开(公告)号:CN106920764B
公开(公告)日:2020-05-05
申请号:CN201610903686.4
申请日:2016-10-17
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 用于制造集成电路装置的移送装置可包括:划分壁,其分离多个制造线;开放部,其设置于所述划分壁,用于在所述多个制造线之间移送对象体;轨道部分,其位于所述制造线的上部,连续地配置于所述多个制造线;以及切断部件,其具有配置于所述轨道部分的上部的第一切断部分及配置于所述轨道部分的下部的第二切断部分,所述切断部件能够通过所述第一切断部分及所述第二切断部分的结合切断所述开放部。本发明的移送装置能够通过连续的轨道部分缩短对象体移送时间。
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公开(公告)号:CN106920764A
公开(公告)日:2017-07-04
申请号:CN201610903686.4
申请日:2016-10-17
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 用于制造集成电路装置的移送装置可包括:划分壁,其分离多个制造线;开放部,其设置于所述划分壁,用于在所述多个制造线之间移送对象体;轨道部分,其位于所述制造线的上部,连续地配置于所述多个制造线;以及切断部件,其具有配置于所述轨道部分的上部的第一切断部分及配置于所述轨道部分的下部的第二切断部分,所述切断部件能够通过所述第一切断部分及所述第二切断部分的结合切断所述开放部。本发明的移送装置能够通过连续的轨道部分缩短对象体移送时间。
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