公开(公告)号：CN1815366A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200610007140.7

申请日：2006-02-05

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社三养EMS

Inventor： 朴廷敏 ,  柳美善 ,  李羲国 ,  全佑奭

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L27/1288 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0236 ,  H01L27/1214 ,  H01L29/458 ,  H01L29/4908

Abstract: 一种光刻胶组合物，其包含下式所示的酚醛清漆树脂；具有式Z1－SH或SH－Z2－SH的巯基化合物(其中Z1和Z2各自是含有1～20个碳原子的烷基或烯丙基)；感光剂；及溶剂。在下式中，R1、R2、R3和R4各自是氢原子或具有1～6个碳原子的烷基，并且n是0～3的整数。

公开(公告)号：CN1815366B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200610007140.7

申请日：2006-02-05

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社三养EMS

Inventor： 朴廷敏 ,  柳美善 ,  李羲国 ,  全佑奭

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L27/1288 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0236 ,  H01L27/1214 ,  H01L29/458 ,  H01L29/4908

Abstract: 一种光刻胶组合物，其包含下式所示的酚醛清漆树脂；具有式Z1-SH或SH-Z2-SH的巯基化合物(其中Z1和Z2各自是含有1～20个碳原子的烷基或烯丙基)；感光剂；及溶剂。在下式中，R1、R2、R3和R4各自是氢原子或具有1～6个碳原子的烷基，并且n是0～3的整数。