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发明公开
超分辨率SEM图像实现装置及其方法审中-实审

公开(公告)号：CN115936981A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202210921491.8

申请日：2022-08-02

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李昊俊 , 金一权 , 朴祥杰 , 郑椙旭 , 车文铉 , S·B·金

IPC: G06T3/40 , G06T5/00

Abstract: 一些示例实施例涉及一种超分辨率扫描电子显微镜(SEM)图像实现装置和/或其方法。提供了一种超分辨率扫描电子显微镜(SEM)图像实现装置，其包括处理器，处理器被配置为裁剪低分辨率SEM图像以生成第一裁剪图像和第二裁剪图像，放大第一裁剪图像和第二裁剪图像以生成第一放大图像和第二放大图像，并且从第一放大图像和第二放大图像中消除噪声以生成第一噪声消除图像和第二噪声消除图像。

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