公开(公告)号：CN103225072A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310032307.5

申请日：2013-01-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 韩炅燉 ,  赵珍锡

IPC: C23C16/44

CPC classification number: H01L21/02104 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45508 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/4582

Abstract: 本发明提供一种气体排放单元以及包括其的薄膜沉积装置。该薄膜沉积装置包括：反应腔室；主盘，安装在反应腔室中；以及气体排放单元，设置在主盘外部。气体排放单元重新收集反应腔室中的气体，并包括：基底件，包括外侧壁、内侧壁以及连接外侧壁和内侧壁的下壁，并且是具有开口上部的环形件。至少一个通孔形成在下壁中。排放套管配置为插入到通孔中，其中在排放套管中形成气体出口。环形的上盖覆盖基底件的开口上部。在上盖中形成多个气体入口。

公开(公告)号：CN103765557A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201180073030.X

申请日：2011-08-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 方祥圭 ,  田镇旭 ,  韩炅燉 ,  石种旭 ,  韩成日

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C30B25/12 ,  C23C16/44 ,  C30B25/02 ,  C30B25/08 ,  C30B25/14

Abstract: 提供了一种气相沉积设备。根据本发明的气相沉积设备可以包括：反应腔室，在该反应腔室中，在晶圆上沉积并且生长外延薄膜，该反应腔室具有可旋转的基座，在该基座上安装晶圆；外壳，在其中布置所述反应腔室，该外壳具有可开启的窗口，使得能够将晶圆装载到反应腔室中或者从反应腔室移出；以及排气装置，用于将外壳内的气体排出到外部以调节内部压力。