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公开(公告)号:CN119720914A
公开(公告)日:2025-03-28
申请号:CN202411239261.9
申请日:2024-09-05
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F30/392 , G06F30/398 , G06N3/0464 , G06N3/084
Abstract: 提供一种预测半导体布局内的潜在缺陷诱发因素的计算设备。所述计算设备包括:机器学习模块,其计算对应于在基于多个半导体布局图像及对应实际测量数据经训练之后的所述多个半导体布局图像当中的至少一个第一半导体布局图像的预测测量数据,及图像解释模块,其基于利用积分梯度IG方式的图像回归模型而产生所述预测测量数据的属性地图图像,预先分析所述属性地图图像并检测所述属性地图图像内具有对所述预测测量数据具有高敏感度的属性值的元素作为潜在缺陷诱发因素。