公开(公告)号：CN101097854A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710129230.8

申请日：2007-02-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉濬 ,  梁成勋 ,  崔在镐

IPC: H01L21/18 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/336 ,  H01L21/84

CPC classification number: C23C16/24 ,  C23C16/56 ,  G02F1/133305 ,  G02F1/133345 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/1262 ,  H01L27/127 ,  H01L29/78603

Abstract: 本发明涉及具有增强的薄膜半导体层的柔性显示装置及其制造方法，包括通过RF溅射在柔性塑料基板上形成阻挡层，在塑料基板上形成非晶硅层，以及使非晶硅层经受快速热处理从而改善非晶硅层的电特性和/或均一性。

公开(公告)号：CN101097854B

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN200710129230.8

申请日：2007-02-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉濬 ,  梁成勋 ,  崔在镐

IPC: H01L21/18 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324 ,  H01L21/336 ,  H01L21/84

CPC classification number: C23C16/24 ,  C23C16/56 ,  G02F1/133305 ,  G02F1/133345 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/1262 ,  H01L27/127 ,  H01L29/78603

Abstract: 本发明涉及具有增强的薄膜半导体层的柔性显示装置及其制造方法，包括通过RF溅射在柔性塑料基板上形成阻挡层，在塑料基板上形成非晶硅层，以及使非晶硅层经受快速热处理从而改善非晶硅层的电特性和/或均一性。

公开(公告)号：CN101232041A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810000902.X

申请日：2008-01-07

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉濬 ,  崔龙模 ,  崔凡洛 ,  梁成勋 ,  吴和烈 ,  崔在镐 ,  许宗茂

IPC: H01L27/32 ,  H01L21/336 ,  H01L21/84

Abstract: 显示器件包括：绝缘基板；形成在绝缘基板上的开关TFT，开关TFT接收数据电压并包括第一半导体层；形成在基板上的驱动TFT，驱动TFT包括与开关TFT的输出终端连接的控制终端和含有多晶硅和卤素材料的第二半导体层；绝缘层，形成在开关TFT和驱动TFT上；第一电极，形成在绝缘层上并电连接到驱动TFT的输出终端；有机发光层，形成在第一电极上；和第二电极，形成在有机发光层上。本发明还涉及显示器件的制造方法。

公开(公告)号：CN1953189A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200610136251.8

申请日：2006-10-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李宇宰 ,  洪雯杓 ,  金秉濬 ,  梁成勋

IPC: H01L27/12 ,  H01L29/786 ,  H01L21/84 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L27/12 ,  G02F1/133305 ,  H01L27/1248 ,  H01L29/7842 ,  H01L29/78603

Abstract: 一种薄膜晶体管TFT基板，包括：塑料绝缘基板；形成于所述塑料绝缘基板的一个表面上的具有第一折射率的第一氮化硅层；以及TFT，其包括形成于所述第一氮化硅层上的具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二氮化硅层。因此，本发明提供了一种TFT基板，其中，缓解了薄膜从塑料绝缘基板上脱落的问题。