公开(公告)号：CN1752852B

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：CN200510105132.1

申请日：2005-09-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴弘植 ,  郑宗铉 ,  尹锡壹 ,  金圣培 ,  金玮溶 ,  许舜范 ,  金柄郁

IPC: G03F7/42 ,  G02F1/1368

CPC classification number: G03F7/425 ,  H01L21/31133 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1288 ,  H01L29/458

Abstract: 本发明提供了一种光刻胶剥离剂，包括：约5wt％至20wt％的醇胺、约40wt％至70wt％的乙二醇醚、约20wt％至40wt％的N-甲基吡咯烷酮、以及约0.2wt％至6wt％的螯合剂。

公开(公告)号：CN1752852A

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN200510105132.1

申请日：2005-09-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴弘植 ,  郑宗铉 ,  尹锡壹 ,  金圣培 ,  金玮溶 ,  许舜范 ,  金柄郁

IPC: G03F7/42 ,  G02F1/1368

CPC classification number: G03F7/425 ,  H01L21/31133 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1288 ,  H01L29/458

Abstract: 本发明提供了一种光刻胶剥离剂，包括：约5wt％至20wt％的醇胺、约40wt％至70wt％的乙二醇醚、约20wt％至40wt％的N－甲基吡咯烷酮、以及约0.2wt％至6wt％的螯合剂。