集成电路(IC)器件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110858590B

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN201910206911.2

    申请日:2019-03-19

    Inventor: 金炫助 全众源

    Abstract: 提供了一种集成电路(IC)器件,该集成电路(IC)器件包括逻辑单元,该逻辑单元具有由单元边界限定的区域。逻辑单元包括第一器件区域、器件隔离区域和第二器件区域。第一器件区域和第二器件区域布置为在第一方向上彼此间隔开,第一方向垂直于第二方向。器件隔离区域在第一器件区域和第二器件区域之间。第一器件区域在第二方向上的第一最大长度小于单元边界在第二方向上的宽度,并且第二器件区域在第二方向上的第二最大长度基本上等于单元边界在第二方向上的宽度。

    具有3D沟道的半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107248503B

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN201710212763.6

    申请日:2014-02-20

    Abstract: 本发明提供一种半导体器件,其包括具有在第一方向上纵向对准的第一鳍、第二鳍和第三鳍的基板。第一沟槽在第一鳍和第二鳍之间延伸,第二沟槽在第二鳍和第三鳍之间延伸。场绝缘材料的第一部分设置在第一沟槽中,场绝缘材料的第二部分设置在第二沟槽中。场绝缘材料的第二部分的上表面在第二沟槽中在第二鳍和第三鳍的最上表面下面的水平处凹进。第一虚设栅极设置在场绝缘材料的第一部分的上表面上,第二虚设栅极至少部分地延伸到第二沟槽中至场绝缘材料的第二部分的上表面。

Patent Agency Ranking