公开(公告)号：CN119927790A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411516254.9

申请日：2024-10-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金映泽 ,  金棹敏 ,  朴成龙 ,  朴赞守 ,  吴炅桓 ,  郑在敏 ,  崔虎燮

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B57/02

Abstract: 一种抛光头可以包括：衬底载体，其可拆卸地固定到驱动轴上，并且对衬底进行加压并旋转衬底，衬底载体包括柔性膜，其中，柔性膜包括主薄膜和多个竖直薄膜，主薄膜具有与衬底接触的第一表面和与第一表面相对的第二表面，多个竖直薄膜在竖直方向上从主薄膜延伸以限定多个加压室，多个加压室关于中心轴沿着径向方向划分；多个温度元件，其在主薄膜中设置在多个加压室下方，并且被构造为将局部热量施加到衬底；以及多个压力元件，其在主薄膜中分别设置在多个温度元件上，并且被构造为将局部压力施加到主薄膜。