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公开(公告)号：CN115684147A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210796399.3
申请日：2022-07-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种用于检查衬底的设备。该用于检查衬底的设备包括：载物台，衬底被配置为装载在该载物台上；光源，其被配置为从具有多个波长的光提取具有第一波长的第一光，并向衬底提供第一光；物镜，其设置在载物台的上表面上并且被配置为允许第一光穿过；至少一个微球体，其设置在载物台的上表面和物镜之间，所述至少一个微球体被配置为允许从物镜提供的第一光穿过，并且使第一光会聚在衬底上；检测器，其被配置为检测由从衬底反射的第一光形成的反射光，以检查衬底；以及控制器，其被配置为控制物镜和所述至少一个微球体当中的至少一个在竖直方向上的位置，使得第一光会聚在形成于衬底上的至少一个焦点上。
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