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公开(公告)号:CN101179011A
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN200710186032.5
申请日:2007-11-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L27/12 , H01L23/544 , G02F1/133 , G02F1/1362
CPC classification number: G02F1/1333 , G02F2001/133374 , G02F2001/133388 , G06Q50/04 , H01L23/544 , H01L2223/54433 , H01L2223/54473 , H01L2924/0002 , Y02P90/30 , H01L2924/00
Abstract: 一种单元标识形成方法,包括:在基板上形成金属层;在金属层上涂覆光致抗蚀材料,以形成光致抗蚀膜;通过包括与单元标识图案相对应的阻光图案的掩模来对光致抗蚀膜进行曝光;对曝光的光致抗蚀膜进行显影;使用显影的光致抗蚀膜来蚀刻金属层,以形成包括单元标识图案的金属图案;以及将激光束照射到单元标识图案的符号上。
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