公开(公告)号：CN116466540A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202211694940.6

申请日：2022-12-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金哲焕 ,  沈智昌 ,  李钟旻 ,  高常恩 ,  权五勳 ,  权赫准

IPC: G03F1/36 ,  G11C16/34 ,  G11C16/08 ,  H01L21/027 ,  G03F1/72

Abstract: 公开了校正设计布局的方法、计算装置和制造半导体装置的方法。在校正半导体装置的设计布局的方法中，测量基于原始布局制造的半导体装置中的多个感兴趣区域中的每个的目标图案的点的一部分的未对准值；通过使用基于测量的点的所述一部分的未对准值训练的人工神经网络，来估计目标图案的未测量点的未对准值；并且通过使用估计的未对准值来生成半导体装置的目标布局。

公开(公告)号：CN118194804A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202310908116.4

申请日：2023-07-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 沈智昌 ,  权五勋 ,  权赫准 ,  元福渊

IPC: G06F30/392

Abstract: 提供了校正设计布局方法、计算装置及制造半导体器件的方法。所述计算装置从原始设计布局中分离出包括多个目标图案的第一目标层；基于所述第一目标层中的所述多个目标图案的位置处的错位值将所述多个目标图案移位，以生成第二目标层；以及将所述第二目标层与从中分离出所述第一目标层的所述原始设计布局组合，以生成校正后的设计布局。