公开(公告)号：CN100356541C

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN02132256.2

申请日：2002-09-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉住 ,  黄寅奭 ,  李浩烈 ,  卞守珉 ,  金炯求 ,  池俊洙

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28

CPC classification number: B24B19/16 ,  B08B1/00 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明揭示了一种用于从集成电路测试探针设备测试探针板的多个电接点上，清洁碎屑和残渣的设备及其使用方法，该设备优先包括具有槽形表面的硅片，可以移动该测试探针板以实现压力接触。槽形表面提供了一种栅形结构，这种栅形结构与所实现的压力电接触结合，可以破碎夹杂或粘附的任何残渣颗粒，然后，将这些颗粒破碎为更小颗粒并从探针板上脱落。利用各种测量传感器对探针板的压力和相对运动进行控制。

公开(公告)号：CN1466182A

公开(公告)日：2004-01-07

申请号：CN02132256.2

申请日：2002-09-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉住 ,  黄寅奭 ,  李浩烈 ,  卞守珉 ,  金炯求 ,  池俊洙

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28

CPC classification number: B24B19/16 ,  B08B1/00 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明揭示了一种用于从集成电路测试探针设备测试探针板的多个电接点上，清洁碎屑和残渣的设备及其使用方法，该设备优先包括具有槽形表面的硅片，可以移动该测试探针板以实现压力接触。槽形表面提供了一种栅形结构，这种栅形结构与所实现的压力电接触结合，可以破碎夹杂或粘附的任何残渣颗粒，然后，将这些颗粒破碎为更小颗粒并从探针板上脱落。利用各种测量传感器对探针板的压力和相对运动进行控制。