光罩护膜组件、光罩组件、光罩盒和光罩护膜测量方法

    公开(公告)号:CN119270578A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202410844830.6

    申请日:2024-06-27

    Abstract: 本公开提供了光罩护膜组件、光罩组件、光罩盒和光罩护膜测量方法。一种光罩护膜组件可以包括:光罩护膜框架,配置为提供第一开口;光罩护膜,在光罩护膜框架上;以及多个光罩护膜电极,沿着光罩护膜的边缘布置并彼此间隔开。光罩护膜可以包括具有四边形或矩形框架形状的光罩护膜边界以及位于光罩护膜边界的顶表面上并且联接到光罩护膜边界的顶表面的光罩护膜膜状物。每个光罩护膜电极可以包括位于光罩护膜膜状物的顶表面上并与光罩护膜膜状物的顶表面接触的接触构件。

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