公开(公告)号：CN1576871A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410069841.4

申请日：2004-07-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李铢赞 ,  宣龙均 ,  金贤镐 ,  李丙天 ,  李俊昊 ,  李钟哲 ,  柳济亨 ,  金兑圭 ,  任洵圭

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R31/2886 ,  G01R31/2893

Abstract: 本发明提供一种测试半导体器件的装置和方法，该装置包括一主体和一用于在测试前和后层叠器件的层叠器。所述层叠器包括至少一个被预设为具有层叠未被测试器件的功能的用户托盘进料器和至少一个被预设为具有层叠已测试器件的功能的用户托盘发送器，所述用户托盘在层叠器操作期间功能可以互换。