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公开(公告)号：CN100472276C
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200610007308.4
申请日：2006-02-07
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及光学系统及其控制方法。依据本发明所提供的光学系统，包含：多个光源；光学多工器，该光学多工器具有用于接收从所述光源输出的光的多个光接收部、用于向外部装置输出光的一个光输出部、用于改变从所述多个光接收部中的某一个光接收部接收到的光方向并将其引导到所述光输出部的光引导部；分光器，以用于对从所述光学多工器输出的光进行分光，并将针对各光波长强度的分光信息编码为数字信号进行输出；光数据处理部，以用于对从所述分光器所输出的数字信号进行译码。由此可以提供从多条光中选择某一条而输出的光学多工器，并提供设备简单、节省制造成本的光学系统。
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公开(公告)号：CN1940527A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200510135970.3
申请日：2005-12-29
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种流入真空室的外部气体检测方法，其特征在于包含步骤：向所述真空室流入工程气体；对所述真空室内的气体进行光检测，以测定所述工程气体和所述外部气体所属的波长(Wavelength)强度(Intensity)；基于所测定的波长强度来计算相对于所述工程气体的所述外部气体比率；比较所述比率与预定的界限值，由此判断所述真空室是否为正常工作状态。因此，在工艺过程中也可以测定真空室的外部气体隔离性能。
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公开(公告)号：CN1908730A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610007308.4
申请日：2006-02-07
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及光学系统及其控制方法。依据本发明所提供的光学系统，包含：多个光源；光学多工器，该光学多工器具有用于接收从所述光源输出的光的多个光接收部、用于向外部装置输出光的光输出部、用于改变从所述多个光接收部中的某一个光接收部接收到的光方向并将其引导到所述光输出部的光引导部；分光器，以用于将从所述光学多工器输出的光进行分光，并输出分光信息；光数据处理部，以用于将从所述分光器所输出的分光信息译码并进行处理。由此可以提供从多条光中选择某一条而输出的光学多工器，并提供设备简单、节省制造成本的光学系统。
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公开(公告)号：CN1908723A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200510133987.5
申请日：2005-12-30
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种光学多工器。依据本发明所提供的光学多工器包含：多个光接收部，用于从外部接收光；光输出部，用于向外部装置输出光；光引导部，用于改变从所述多个光接收部中的某一个光接收部所接收到的光方向，并将其引导到所述光输出部。从而提供可以从多条光中选择其中某一条光而输出的光学多工器。
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