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发明公开
流入真空室的外部气体检测方法无效

公开(公告)号：CN1940527A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200510135970.3

申请日：2005-12-29

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴起梁 , 姜炫圭 , 崔命受 , 尚兑峻

IPC: G01N21/17 , H05H1/00 , G01M3/00

Abstract: 本发明涉及一种流入真空室的外部气体检测方法，其特征在于包含步骤：向所述真空室流入工程气体；对所述真空室内的气体进行光检测，以测定所述工程气体和所述外部气体所属的波长(Wavelength)强度(Intensity)；基于所测定的波长强度来计算相对于所述工程气体的所述外部气体比率；比较所述比率与预定的界限值，由此判断所述真空室是否为正常工作状态。因此，在工艺过程中也可以测定真空室的外部气体隔离性能。

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