公开(公告)号：CN103996640B

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201410056849.0

申请日：2014-02-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴相真 ,  尹普彦 ,  韩政男 ,  权奇相 ,  尹斗圣 ,  崔源尚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

Abstract: 提供了化学品供给器，用于进行湿处理的装置和方法。所述化学品供给器包括：化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将在所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度；和动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物，以使所述化学品混合物向所述处理室移动。

公开(公告)号：CN103996640A

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201410056849.0

申请日：2014-02-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴相真 ,  尹普彦 ,  韩政男 ,  权奇相 ,  尹斗圣 ,  崔源尚

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/67075 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6708

Abstract: 提供了化学品供给器，用于进行湿处理的装置和方法。所述化学品供给器包括：化学品储存器，所述化学品储存器容纳处于室温的化学品混合物，所述化学品储存器的内部空间与环境隔离；供给线，通过所述供给线将所述化学品混合物从所述化学品储存器供给至处理室；在线加热器，所述在线加热器位于所述供给线上并且将在所述供给线中的所述化学品混合物加热至处理温度；和动力源，所述动力源驱动所述化学品混合物，以使所述化学品混合物向所述处理室移动。