公开(公告)号：CN111223792A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201910583940.0

申请日：2019-07-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 丁大声 ,  苏相允 ,  宋钟民 ,  姜泯浩

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 提供了一种化学液体供应装置和半导体处理装置。在半导体制造工艺期间向处理室供应化学液体的化学液体供应装置可以包括：化学液体供应管，化学液体在其中流动，并且化学液体供应管的通过其喷射化学液体的喷射端延伸到处理室中；设置在化学液体供应管外部的外部电极；以及配置为向外部电极施加电力的供电模块。

公开(公告)号：CN115910846A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211033019.7

申请日：2022-08-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李镐铉 ,  李泰衡 ,  宋钟民 ,  尹镛 ,  崔载武

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 一种示教设备包括：腔室；在腔室中的静电卡盘，该静电卡盘包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到静电卡盘的装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量对准器与静电卡盘的侧壁之间的分离区域的分离距离来获得测量数据并发送该测量数据；传送机器人，其被配置为将对准器装载到装载区域的参考位置上并将视觉传感器定位在静电卡盘上方；以及控制器，其被配置为基于从视觉传感器发送的测量数据重置参考位置并使分离距离相等。

公开(公告)号：CN109659251B

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN201810971332.2

申请日：2018-08-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 黄泳豪 ,  苏相允 ,  李大熙 ,  丁大声 ,  金东煜 ,  宋钟民

IPC: H01L21/67 ,  G01D21/02

Abstract: 一种用于检测半导体设备中的工艺环境的传感器模块，其包括：传感器主体，其包括第一板和第二板；以及在传感器主体中的传感器电路单元，其中传感器电路单元包括在第一板与第二板之间的静电传感器。

公开(公告)号：CN109659251A

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201810971332.2

申请日：2018-08-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 黄泳豪 ,  苏相允 ,  李大熙 ,  丁大声 ,  金东煜 ,  宋钟民

IPC: H01L21/67 ,  G01D21/02

Abstract: 一种用于检测半导体设备中的工艺环境的传感器模块，其包括：传感器主体，其包括第一板和第二板；以及在传感器主体中的传感器电路单元，其中传感器电路单元包括在第一板与第二板之间的静电传感器。