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公开(公告)号：CN1167337A
公开(公告)日：1997-12-10
申请号：CN97104711.1
申请日：1997-02-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/3063
CPC classification number: H01L21/67086 , H01L21/67075
Abstract: 一种溢流式化学腐蚀槽，包括在其侧壁形成多个孔的内腐蚀槽。各孔与内腐蚀槽上端相距预定距离。在此化学腐蚀槽中，当内腐蚀槽中的化学物质流过内腐蚀槽的上端时，同时通过各孔排放至外腐蚀槽。因此，除非相对的两侧壁中的一侧倾斜低于另一侧超过预定值。否则在内腐蚀槽的两侧壁化学物质能以几乎相同的量连续流动，从而使因晶片位置不同而引起的腐蚀速率差异得以减小，使腐蚀工艺可靠性得以改善。
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