公开(公告)号：CN1758409A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN200510088546.8

申请日：2005-08-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金勇权 ,  李在哲 ,  姜成镐 ,  李相哲 ,  郑义庸

IPC: H01J27/08 ,  H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J27/08 ,  H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/3233 ,  H01J37/3244 ,  H01J2237/082

Abstract: 一种用于电离源气体的离子源包括限定电弧室以接收源气体的电弧室外壳。电弧室具有第一区域和第二区域。电子发射装置布置在邻近第一区域的电弧室中以及用于发射电子到第一和第二区域中以电离源气体。电子反射装置布置在邻近第二区域的电弧室中以及用于反射从电子发射装置发射的至少一些电子到第二区域中。供气系统用于将源气体直接提供到第一区域和第二区域中。根据某些实施例，与提供到电弧室的其他区域中相比，供气系统用于提供更大质量流速的源气体到第一和第二区域中。