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公开(公告)号：CN115810554A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211106140.8
申请日：2022-09-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种检测异常的方法包括：使用预定时段包括的多个时间点的不良品数据来计算参考不良率；使用所述参考不良率来计算与所述预定时段之后的检测时间点的不良品数据相对应的检测不良率和权重；基于将所述检测不良率乘以所述权重来计算异常指标；将所述异常指标与对应于用于稳定控制不良率的控制极限的指标进行比较；以及基于所述异常指标与对应于所述控制极限的所述指标的所述比较的结果，来检测所述检测时间点的所述不良品数据是否异常。
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