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公开(公告)号：CN1405784A
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN02141550.1
申请日：2002-09-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G01Q60/22
Abstract: 一种测量近场光学探针光圈孔径的装置和方法。该装置包括：光源、光学探测器、和滤波器。光源向近场光学探针发射光。光学探测器放置于近场光学探针之前并且接收由近场光学探针透过的光用以探测光强。滤波器配备于光源与光学探测器之间并从透过近场光学探针的光中仅透过特定模式的波长的光。因此，在不损坏近场光学探针的情况下，能够精确实时测量近场光学探针光圈孔径。
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