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公开(公告)号：CN101220460B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200810000046.8
申请日：2008-01-04
Applicant: 三星康宁精密素材株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明涉及一种相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上的溅射用靶装置，该溅射用靶装置包括：背板，含有中央表面以及在中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面；基准靶材，安装在背板的中央表面上；和加强靶材，安装在背板的台阶表面上。
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