公开(公告)号：CN1274874C

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN02142566.3

申请日：2002-08-14

Applicant: 三星康宁株式会社

Inventor： 宋希洙 ,  朴性玩

IPC: C23C14/34 ,  C03C17/00

CPC classification number: C23C14/568 ,  C23C14/541 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明公开了一种在衬底上淀积薄膜的连续式溅射设备，包含：一个缓冲加热模块，其中的内部气压减小到真空状态，并且衬底被预热；一个入口传送模块，与缓冲加热模块相邻，并且具有一个在内部移动衬底的快速传送装置，在这个模块内，衬底被加热；一个第一溅射模块，用来在衬底上淀积薄膜，它与入口传送模块相邻；由此，入口传送模块充当缓冲区域，减小当衬底从缓冲加热模块中卸载出来的时候第一溅射模块中温度和气压的起伏；其中，入口传送模块中的衬底被该快速传送装置以比第一溅射模块中快的速度移动。本发明也公开了一种利用上述连续式溅射设备在衬底上淀积薄膜的方法。

公开(公告)号：CN1407129A

公开(公告)日：2003-04-02

申请号：CN02142566.3

申请日：2002-08-14

Applicant: 三星康宁株式会社

Inventor： 宋希洙 ,  朴性玩

IPC: C23C14/34 ,  C03C17/00

CPC classification number: C23C14/568 ,  C23C14/541 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6776

Abstract: 用来在衬底上淀积薄膜的内嵌式溅射系统包括缓冲加热模块，与缓冲加热模块相邻并且具有快速传送设备用来移动衬底的入口传送模块，和用来在衬底上淀积薄膜的第一溅射模块，第一溅射模块与入口传送模块相邻。入口传送模块充当缓冲区域，在衬底从缓冲加热模块中卸载出来时，可以减小在第一溅射模块中的温度和气压的波动。入口传送模块中的衬底被快速传送设备以比在第一溅射模块中快的速度移动。