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公开(公告)号:CN1295292C
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN03812996.5
申请日:2003-06-03
Applicant: 三星康宁株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: B82Y30/00 , C01F7/02 , C01F17/0043 , C01G1/02 , C01P2004/04 , C01P2004/50 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C01P2006/12 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 本发明涉及一种用于高精密度抛光的金属氧化物粉末及其制备方法,所述金属氧化物粉末包含由初级颗粒聚集形成的聚集体,其具有1.1至2.0的聚集度(α)及3至10的聚集等级(β),所述聚集度(α)和聚集等级(β)可分别由式(Ⅰ)和式(Ⅱ)定义:α=6/(S×ρ×d(XRD)) (Ⅰ)β=重量平均粒径/d(XRD)(Ⅱ)其中,S为该粉末的比表面积;ρ为密度;及d(XRD)为由X射线衍射分析所测得的粉末粒径。本发明的粉末可提供高抛光速度并减少刮伤。
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公开(公告)号:CN1659252A
公开(公告)日:2005-08-24
申请号:CN03812996.5
申请日:2003-06-03
Applicant: 三星康宁株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: B82Y30/00 , C01F7/02 , C01F17/0043 , C01G1/02 , C01P2004/04 , C01P2004/50 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C01P2006/12 , C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 本发明涉及一种用于高精密度抛光的金属氧化物粉末及其制备方法,所述金属氧化物粉末包含由初级颗粒聚集形成的聚集体,其具有1.1至2.0的聚集度(α)及3至10的聚集等级(β),所述聚集度(α)和聚集等级(β)可分别由式(I)和式(II)定义:α=6/(S ×ρ× d(XRD)) (I)β=重量平均粒径/d(XRD) (II)其中,S为该粉末的比表面积;ρ为密度;及d(XRD)为由X射线衍射分析所测得的粉末粒径。本发明的粉末可提供高抛光速度并减少刮伤。
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