公开(公告)号：CN1082888C

公开(公告)日：2002-04-17

申请号：CN97103180.0

申请日：1997-02-16

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 后藤优实 ,  宫下武博 ,  冈村友之 ,  山崎文晴 ,  福田伸 ,  福田信弘 ,  田尻洋子 ,  川崎登

IPC: B32B27/06 ,  C23C14/08

CPC classification number: C23C14/5826 ,  B32B15/08 ,  B32B27/06 ,  C23C14/205 ,  C23C14/5853 ,  C23C16/402 ,  H05K3/38 ,  Y10T428/31667

Abstract: 一种采用聚合物模片作基片的层状材料，具有透光性，隔气性和优异的耐碱性。通过进行表面处理，沉积选自周期表2，8，9，10和11族中至少一种金属的氧化物，然后在处理过的表面形成例如硅的氧化物，硅的氮化物和硅的碳化物的隔气层。即使浸入pH12或更高的碱性溶液，隔气层不会从聚合物模片上剥落。按照单位面积金属原子计，处理过表面的金属量优选范围是5×1014原子/cm2-3×1016原子/cm2。在对层状材料上形成的透明导电层用碱刻蚀作图过程中，不会降低层状材料的实用性。