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公开(公告)号:CN1296024A
公开(公告)日:2001-05-23
申请号:CN00127090.7
申请日:1995-08-25
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G63/00
CPC classification number: G03F7/0236 , B41M5/155 , C07C65/105 , C07C65/24 , C08G61/02 , C08L63/00 , G03F7/0233 , C08L2666/22
Abstract: 本发明涉及一种部分酯化产物,该产物是通过进行部分酯化下式(11)所示的羟基羧酸树脂中的羧基而制得的,式(11)中各个A可以是相同的或不相同的,并分别表示取代的或未取代苯基或萘基,R1表示氢原子或C1-4的烷其,R2表示氢原子或C1-10的烷基、C1-10的烷氧基、硝基或羟基,1代表0~100的整数,m代表0~20的整数,n代表0~3的整数。本发明还涉及包含此部分酯化产物的抗光蚀剂组合物。
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公开(公告)号:CN1066746C
公开(公告)日:2001-06-06
申请号:CN95116310.8
申请日:1995-08-25
Applicant: 三井化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0236 , B41M5/155 , C07C65/105 , C07C65/24 , C08G61/02 , C08L63/00 , G03F7/0233 , C08L2666/22
Abstract: 本发明披露的是一种下式(1)所示的芳族羟基羧酸树脂;式中各个A可以是相同的或不相同的,并各自表示取代的或未取代的苯基或萘基,R1表示氢原子或C1-4的烷基,R2表示氢原子或C1-10的烷基、C1-10的烷氧基、硝基或羟基,1代表0~100的整数,m代表0~20的整数,n代表0~3的整数,但须是,当各个A全部表示苯基时,m代表0以外的整数,本发明也公开了其制法及其用途。
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