公开(公告)号：CN110235236B

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN201880008938.4

申请日：2018-01-26

Applicant: 三井化学东赛璐株式会社

Inventor： 林下英司 ,  高桥宏和 ,  福良和秀

IPC: H01L21/683 ,  B32B15/08 ,  B32B27/00 ,  B32B27/36 ,  C09J7/20 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明的目的在于提供具有能在不同工序间通用的通用性并且在加热环境下能可靠地吸附于卡盘台的部件制造用膜、部件制造用具以及部件制造方法，本发明的膜(1)具有第1区域S1和包围区域S1而配置的第2区域S2，区域S1由基层11和设置在其一面侧的粘着材层12形成，区域S2由基层11和粘着材层12、以及贴附在层12上的附加层13形成，在温度190℃以下的范围，附加层13的拉伸弹性模量大于或等于基层11的拉伸弹性模量。本发明的方法具备部件固定工序、以区域S1与区域S2的边界位于与卡盘台端缘相比靠内侧的方式进行载置的膜载置工序、吸附工序以及加热工序。

公开(公告)号：CN110235236A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201880008938.4

申请日：2018-01-26

Applicant: 三井化学东赛璐株式会社

Inventor： 林下英司 ,  高桥宏和 ,  福良和秀

IPC: H01L21/683 ,  B32B15/08 ,  B32B27/00 ,  B32B27/36 ,  C09J7/20 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明的目的在于提供具有能在不同工序间通用的通用性并且在加热环境下能可靠地吸附于卡盘台的部件制造用膜、部件制造用具以及部件制造方法，本发明的膜(1)具有第1区域S1和包围区域S1而配置的第2区域S2，区域S1由基层11和设置在其一面侧的粘着材层12形成，区域S2由基层11和粘着材层12、以及贴附在层12上的附加层13形成，在温度190℃以下的范围，附加层13的拉伸弹性模量大于或等于基层11的拉伸弹性模量。本发明的方法具备部件固定工序、以区域S1与区域S2的边界位于与卡盘台端缘相比靠内侧的方式进行载置的膜载置工序、吸附工序以及加热工序。