公开(公告)号：CN102851643B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201210227849.3

申请日：2012-07-02

Applicant: 三星电子株式会社 ,  YMC株式会社

Inventor： 朴京一 ,  全勤益 ,  金相秀 ,  李允龙

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3407 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3497 ,  Y10T29/49947

Abstract: 本发明提供了非粘合溅射结构以及形成用于溅射的结构的方法。该非粘合溅射结构包括具有板状的溅射靶和具有板状的背板。背板面对溅射靶，并且溅射靶和背板的面对表面彼此接触。背板包括：主体，具有纵轴；以及冷却构件，冷却材料通过冷却构件在主体的实质上平行于纵轴的纵向方向上流动。冷却材料将由溅射而从溅射靶产生的热传导到背板的外部。该非粘合型溅射结构还包括多个非粘合紧固构件，该多个非粘合紧固构件保持背板和溅射靶的面对表面彼此接触。非粘合紧固构件延伸穿过背板的厚度且对应于背板的不包括冷却构件的区域。

公开(公告)号：CN102851643A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210227849.3

申请日：2012-07-02

Applicant: 三星电子株式会社 ,  YMC株式会社

Inventor： 朴京一 ,  全勤益 ,  金相秀 ,  李允龙

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3407 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/3435 ,  H01J37/3497 ,  Y10T29/49947

Abstract: 本发明提供了非粘合溅射结构以及形成用于溅射的结构的方法。该非粘合溅射结构包括具有板状的溅射靶和具有板状的背板。背板面对溅射靶，并且溅射靶和背板的面对表面彼此接触。背板包括：主体，具有纵轴；以及冷却构件，冷却材料通过冷却构件在主体的实质上平行于纵轴的纵向方向上流动。冷却材料将由溅射而从溅射靶产生的热传导到背板的外部。该非粘合型溅射结构还包括多个非粘合紧固构件，该多个非粘合紧固构件保持背板和溅射靶的面对表面彼此接触。非粘合紧固构件延伸穿过背板的厚度且对应于背板的不包括冷却构件的区域。